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产品名称:
BeamScanXYPREC光束分析仪
产品介绍: BeamScanXYPREC光束分析仪适用于测量极小光束 —— 类似几微米直径大小的光束的仪器。 在如此狭小的范围内,控制测量平面位置精度的能力就变得十分重要了。因为光束衍射极限的景深只是一个概略的数字 . 举例来说,光束直径的平方, 6um 光束,得到的景深只有 36um 。因此,如果不能精确控制测量平面,就不可能准确的测量到光腰,就会导致测量失误。 Photon 对最合适的路径进行了综合测试,用来提高测量平面位置的精度。同时为了达到最大的精确度,仪器的误差已经被减少到了最小。测试的最终结果是:探头的测量平面可以被控制到最小 (3.8um 或 7um) 。然后仪器又经过了坐标测量仪 (CMM) 的测试检验 . 其中 CMM 的精度为 2.5um. 因此 , 可测平面数据为 ±5 μm 或者可选为 ±3 μm
附:不锈钢扫描头
通过对许多材料的试验, 我们发现由于不锈钢有非常可靠的机械稳定性,是最适合进行加工的材料。因此,我们对 BeamScan进行了第一次改进,每个 BeamScan 高精度探头的成分中都加入了经过精密加工的 ASTM303 不锈钢。 不锈钢扫描头的出现优化了生产过程 , 缩短了生产上产生的误差。
光波范围 :
XYPREC : 400 nm - 1000 nm
XYGEPREC : 700 nm - 1800 nm
可测光束尺寸 :
4 μm-[aperture]
Depending on slit size and power
规格:
光波范围: |
- XYPREC : 400 nm - 1000 nm
- XYGEPREC : 700 nm - 1800 nm
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光波取样: |
- 0.14, 1.4 or 14 μm
- Automatic or Manual setting
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取样更新速度 |
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狭缝尺寸: |
- 1.8 μm (standard)
- 1, 5 or 25 μm (optional)
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可测光束尺寸: |
- 4 μm-[aperture]
- Depending on slit size and power
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测量平面: |
- Controlled to 7 μm (absolute)
- Optional: 3.8 μm (absolute)
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可测平面数据:
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- X, measured and reported to ±5 μm
- Optional: ± 3 μm
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材料构成: |
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