产品名称: F20-XT 经济型高级膜厚测量系统 产品简介: 是在F20-NIR的基础上专为测试厚膜而设计的,波长范围从1200nm到1450nm,在NIR波长分辨率为0.5nm,薄膜厚度的测量范围是: 0.2~450um(低光学参数薄膜),0.1~160um(Si及其它半导体),精度都好于0.4%。 应用领域: 微机电系统MEMS; 绝缘体上硅SOI; 倒装芯片Flip Chips; 厚聚合物;
详细技术参数及说明书点击此处右键‘另存为'下载
Filmetrics薄膜测量系统 F10-AR 增透膜及硬膜厚度分析测量系统
F10-VC 真空镀膜反射率与透射率同步测量系统
F20 便携式膜厚测量系统
F20-HC 经济型高级膜厚测量系统
F20-XT 经济型高级膜厚测量系统
F30 原位测量系统
F40 小物体膜厚测量系统
F42 微观区域薄膜厚度分布测量仪
可选附件
Filmetrics半导体测量系统
F50 膜厚分布自动测量系统
F80 经济型膜厚自动测量系统
F80-b BOLTS膜厚综合测量系统
F80-c 全自动Cassette-to-Cassette膜厚测量系统