产品名称:

    F30
原位测量系统
产品简介:
    是
监测薄膜沉积的最有效工具,可安装在任何真空镀膜机腔体外的窗口,实时监控长晶速度,实时测量膜厚、nk值以及半导体和绝缘体涂层的均匀性。可加装三个探头,同时测量三个样品,有三种不同波长选择(波长范围从可见光400nm至近红外1700nm)。测量的薄膜厚度范围从15nm250um,测量精度优于1%
主要特点:
   
测量精度高,优于1%
   
测量速度快,几秒钟内可完成测量;
    整套设备可放置在沉积室外;
    操作简单,使用方便;
    价格便宜
应用领域
   
分子束外延MBE
   
金属有机物化学气相沉积
MOCVD
    材料研究;
   
光电镀膜应用:硬化膜、抗反射膜、滤波片;


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