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产品名称:
F30
原位测量系统
产品简介:
是监测薄膜沉积的最有效工具,可安装在任何真空镀膜机腔体外的窗口,实时监控长晶速度,实时测量膜厚、n、k值以及半导体和绝缘体涂层的均匀性。可加装三个探头,同时测量三个样品,有三种不同波长选择(波长范围从可见光400nm至近红外1700nm)。测量的薄膜厚度范围从15nm到250um,测量精度优于1%。
主要特点:
测量精度高,优于1%;
测量速度快,几秒钟内可完成测量;
整套设备可放置在沉积室外;
操作简单,使用方便;
价格便宜
应用领域:
分子束外延MBE;
金属有机物化学气相沉积MOCVD;
材料研究;
光电镀膜应用:硬化膜、抗反射膜、滤波片;
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