产品名称:

    F50
膜厚分布自动测量系统
产品简介:
   
F50配备全自动R-θ和X-Y工作台,有200mm300mm两种型号可供选择,客户也可提供所需尺寸。测量速率高达2/秒,通过快速扫描功能,可取得整片样品的厚度分布情况以及光学参数(nk),有五种不同波长选择(波长范围从紫外220nm至近红外1700nm)。测量的薄膜厚度范围从 10nm450um,最高精度为0.1nm
主要特点:
   
操作简单、使用方便;
    测量快速、准确;
    体积小、重量轻;
    价格便宜;
应用领域:
   
半导体行业:光阻、氧化物、氮化物;
     LCD
行业:液晶盒间隙厚度、
Polyimides
    
光电镀膜应用:硬化膜、抗反射膜、滤波片;


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