|
产品名称:
F50
膜厚分布自动测量系统
产品简介:
F50配备全自动R-θ和X-Y工作台,有200mm和300mm两种型号可供选择,客户也可提供所需尺寸。测量速率高达2点/秒,通过快速扫描功能,可取得整片样品的厚度分布情况以及光学参数(n、k),有五种不同波长选择(波长范围从紫外220nm至近红外1700nm)。测量的薄膜厚度范围从
10nm到450um,最高精度为0.1nm。
主要特点:
操作简单、使用方便;
测量快速、准确;
体积小、重量轻;
价格便宜;
应用领域:
半导体行业:光阻、氧化物、氮化物;
LCD行业:液晶盒间隙厚度、
Polyimides;
光电镀膜应用:硬化膜、抗反射膜、滤波片; |