产品名称: F80-b BOLTS膜厚综合测量系统 产品简介: 便于集成在BOLTS系统中进行综合测量应用,操作简单,使用方便,适用于工业级大批量生产,是CMP和CVD过程中的理想测量工具。
Filmetrics薄膜测量系统 F10-AR 增透膜及硬膜厚度分析测量系统
F10-VC 真空镀膜反射率与透射率同步测量系统
F20 便携式膜厚测量系统
F20-HC 经济型高级膜厚测量系统
F20-XT 经济型高级膜厚测量系统
F30 原位测量系统
F40 小物体膜厚测量系统
F42 微观区域薄膜厚度分布测量仪
可选附件
Filmetrics半导体测量系统
F50 膜厚分布自动测量系统
F80 经济型膜厚自动测量系统
F80-b BOLTS膜厚综合测量系统
F80-c 全自动Cassette-to-Cassette膜厚测量系统