产品名称: F80经济型膜厚自动测量系统 产品简介: F80系统基于光谱成像技术 ,通过在每个测量位置附近采集大量的反射频谱来生成厚度图像,用来进行绝缘涂层的厚度,测量样品的尺寸从2英寸~12英寸。 主要特点: 测量速度快; 极易使用; 适用工业控制领域; 价格便宜 应用领域: 化学机械抛光CMP; 化学气相沉积CVD; 物理气相沉积PVD; 硅片涂胶工艺;
Filmetrics薄膜测量系统 F10-AR 增透膜及硬膜厚度分析测量系统
F10-VC 真空镀膜反射率与透射率同步测量系统
F20 便携式膜厚测量系统
F20-HC 经济型高级膜厚测量系统
F20-XT 经济型高级膜厚测量系统
F30 原位测量系统
F40 小物体膜厚测量系统
F42 微观区域薄膜厚度分布测量仪
可选附件
Filmetrics半导体测量系统
F50 膜厚分布自动测量系统
F80 经济型膜厚自动测量系统
F80-b BOLTS膜厚综合测量系统
F80-c 全自动Cassette-to-Cassette膜厚测量系统