产品名称

   
F80经济型膜厚动测量系统
产品简介:
    F
80
系统基于光谱成像技术 ,通过在每个测量位置附近采集大量的反射频谱来生成厚度图像,用来进行绝缘涂层的厚度,测量样品的尺寸从2英寸~12英寸。
主要特点:
   
测量速度快;
    极易使用;
    适用工业控制领域;
    价格便宜
应用领域:
   
化学机械抛光CMP
    化学气相沉积
CVD
    物理气相沉积
PVD
   
硅片涂胶工艺;

 

 

Filmetrics薄膜测量系统

F10-AR  增透膜及硬膜厚度分析测量系统

F10-VC  真空镀膜反射率与透射率同步测量系统

F20 便携式膜厚测量系统

F20-HC 经济型高级膜厚测量系统

F20-XT 经济型高级膜厚测量系统

F30 原位测量系统

F40 小物体膜厚测量系统

F42 微观区域薄膜厚度分布测量仪

可选附件


Filmetrics半导体测量系统

F50 膜厚分布自动测量系统

F80 经济型膜厚自动测量系统 

F80-b BOLTS膜厚综合测量系统

F80-c 全自动Cassette-to-Cassette膜厚测量系统
 

其它代理厂商







 

 

 

 


 
版权所有© 北京高光科技有限公司
地址:北京海淀区长春桥路11号亿城大厦C1座(4号楼)303室
邮编:100089;电话:010-58816816/7;传真:010-58816819;E-mail: cl@clight.com.cn